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超声波干式清洗技术

超声波干式清洗技术是一种高速气流与超声波共同作用,对超精密待清洗件(如半导体器件,玻璃或硅基板等)亚微米级别的污染物进行清洗的新型的超声波清洗机之干式清洗技术。一般包括三大系统:


空气循环系统;

清洗件传送系统; 

超声清洗头?掌废低忱酶貉棺饔媒驴掌欢衔氩⒕换笫淙肭逑赐费沽η,同时利用离心力将内部空气不断送出;清洗件传送系统将待清洗件传送给超声波清洗头。


核心部件超声波清洗头主要有两类:一类空气流经特殊设计的变截面流道时,经激流震荡生成超声波,但这种超声波的强度弱,传递能量少。另一类内置超声波增幅器,超声波空气在大小约 0.3mm 的出口处体积迅速膨胀,达到一种“微型爆炸”的效果。高速气流和超声波的共同作用使污物微粒脱离悬浮,超声波的反射作用将微粒带动起来,由清洗头的真空吸附腔吸走并分离,这种清洗方式杜绝清洗剂对环境造成污染。


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